大型冷水機（jī）組在真空（kōng）鍍膜（mó）上的應用

大型冷水機組（zǔ）在真（zhēn）空鍍膜工作原理是膜體在（zài）高（gāo）溫下蒸發（fā）落在工件表麵結晶。由於空氣對（duì）蒸發的膜（mó）體分子會產生（shēng）阻力造成碰（pèng）撞使（shǐ）結晶體變得粗糙無光，所以必須在高真空下才能使結晶體細密光亮，果如真空度不高結晶體就（jiù）會失去光澤（zé）結（jié）合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發體自然散射，結合（hé）差（chà）工（gōng）效低光澤差。現在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發分（fèn）子在電場的作用下加（jiā）速轟擊靶（bǎ）材，濺射出大量的靶（bǎ）材原（yuán）子，呈中性的靶原（yuán）子（或（huò）分子）沉積在基（jī）片上成膜，解決了過（guò）去自然蒸（zhēng）發無（wú）法加工的膜體品種，如鍍鈦鍍鋯等等。

大（dà）型冷水機組在中頻設備必須加冷卻水，原因是（shì）它（tā）的頻率高（gāo）電流大（dà）。電流在導體流（liú）動（dòng）時有一個集膚效應（yīng），電荷會聚集在（zài）電導有表麵積，這樣使電導發熱所以采用中孔管（guǎn）做導體（tǐ）中（zhōng）間加水冷卻。